熱偶真空計

利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體的熱傳導有關(guān)的原理來(lái)測量真空度的真空計。

電離真空計

由筒狀收集極，柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構成，筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子，離子被收集極收集，根據收集的離子流大小來(lái)測量氣體壓強的真空計。

復合真空計

由熱偶真空計與熱陰極電離真空計組成，測量范圍從大氣~10-5Pa。

冷陰極電離計

陽(yáng)極筒的兩端有一對陰極板，在外加磁場(chǎng)作用，陽(yáng)極筒內形成潘寧放電產(chǎn)生離子，根據陰極板收集的離子流的大小來(lái)測定氣體壓強的真空計。

電阻真空計

利用加熱元件的電阻與溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體傳導有關(guān)的原理，通過(guò)電橋電路來(lái)測量真空度的真空計。

麥克勞真空計

也成為壓縮式真空計，將待測的氣體用汞（或油）壓縮到一極小體積，然后比較開(kāi)管和閉管的液柱差，利用玻義爾定律直接算出氣體壓強的一種絕對真空計。

電容薄膜真空計

這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規。收集極是一根細絲，放在柵網(wǎng)中心，燈絲放在柵網(wǎng)外面，因而減少軟X射線(xiàn)影響，延伸測量下限，可測超高真空。電容薄膜真空計將三種不同的規管綜合在個(gè)小型經(jīng)濟的規管中，測量過(guò)程壓強和基本壓強從5x10-10至1500毫巴。