螺桿真空泵是容積式真空泵的新成員。它出現在1990年左右，發(fā)展相對較晚。然而，螺桿真空泵作為一種理想的干泵，自螺桿真空泵廠(chǎng)家生產(chǎn)問(wèn)世以來(lái)發(fā)展迅速。

開(kāi)山螺桿真空泵一般為雙螺桿結構。螺桿真空泵是通過(guò)一對不對稱(chēng)的螺桿轉子在泵腔內同步、反向工作，并周期性改變齒間容積的一種吸排氣設備。

其主要結構包括螺桿轉子、軸承、泵體、密封件等，螺桿轉子經(jīng)過(guò)精細動(dòng)平衡校正后，由軸承支撐安裝在泵腔內。保持螺釘之間的嚴格間隙。泵工作時(shí)，兩者無(wú)摩擦，運轉平穩，噪音低，腔內無(wú)需潤滑油。因此，螺桿真空泵在含有大量蒸汽和少量粉塵的情況下可以抽出氣體。具有極限真空度高、功耗低、節能、免維護等優(yōu)點(diǎn)。

開(kāi)山螺桿真空泵的結構比較簡(jiǎn)單。在形式上，螺桿真空泵可分為臥式和立式；根據螺桿轉子形狀的不同，可分為單頭螺桿真空泵和多頭螺桿真空泵；根據轉子螺距的不同，單頭螺桿真空泵可分為等螺距螺桿真空泵和變螺距螺桿真空泵。

可變音高又可細分為初級型、二級型、三級型等。